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Índice


1) Introdução

2) Conceitos teóricos

3) Métodos e instrumentos de medida

4) Medidas em wafers de silício

5) Estudo comparativo entre os dois sistemas

6) Conclusão




                                               2
Introdução



              Mono-Si


              Multi-Si
                                Célula PV
                               convencional
                                                       Módulo PV
     Wafers                        c-Si



                         87,6% das células PV (2010)




                                                                   3
Introdução


     Material que constitui wafer muito importante na relação custo-eficiência do
                                     sistema PV




                             Caracterização do material




                                   Tempos de vida




                                                                                    4
Introdução



Tempos de vida                  Material de má              Decréscimo da eficiência
   baixos                        qualidade                  Aumento dos custos do
                                                                     Wp




                 Identificação e remoção das wafers de má qualidade




                                                                                       5
Conceitos teóricos

Mecanismos de recombinação

                              SRH, Auger, Radiativa




                             Maior fatia de
                               perdas em
                             células de c-Si




                                               6
Conceitos teóricos


                Superfície
                                                  1         1        1
                                                                
                     Bulk                        eff       b       s
                Superfície



  Operações de corte e polimento criam      Aumento dos eventos de
       novos estados à superfície          recombinação à superfície


                                         Diminuição do tempo de vida à
                                                   superfície

                                                                          7
Conceitos teóricos



           Reduzir ao máximo a densidade de estados energéticos à superfície


                                Passivação da superfície




                         SiO2                         Iodo-Etanol


       Região de deplecção positiva repele os buracos da superfície (em p-Si)



                                                                                8
Técnicas de medida de tempos de vida em semicondutores

  RF-QSSPC e μW-PCD determinam o tempo de vida recorrendo à fotocondutância.
                                    Diferem no tipo de sensor e excitação



WCT-120 Sinton
Sensor RF – correntes induzidas ∝ fotocondutância
Excitação – pulso luz longo com decaimento lento



           WT-1000 Semilab
           Sensor refletância μW – diferença amplitudes das microondas ∝ fotocondutância
           Excitação – pulso luz abruptamente interrompido




                                                                                   9
Instrumentos de medida - WCT-120 Sinton

                                                         Luz branca + filtro passa I.V.
                                                         Diâmetro sensor RF: 4 cm
                                                         Gerador RF: 13,56 MHz


                                                                         Wn
                                                         QSS 
                                                                                   d
                                                                  N ph f abs  W      n
                                                                                   dt
                                            Taxa de
                                          fotogeração
                                                         W – Espessura da wafer
                                                         Δn – Concentração de electrões
                                                         em excesso
                                                         Nph- Fluxo de fotões
                                                         Fabs – Coeficiente de absorção

                                                                                          10
Instrumentos de medida -    WT-1000 Semilab

                                                          Laser I.V.
                                                          Diâmetro laser: 3 mm
                                                          Gerador μW: 10,3 GHz

                                                                       1
                                                          PCD   
                                                                    1 d
                                                                          n
                                                                    n dt


                                                                            t 
                                                         n(t )  n(0) exp
                                                                               
                                                                                 
                                                                            PCD 


  Após remoção da excitação , o tempo de vida é o tempo t até que Δn(t)=e-1Δn(0)

                                                                                     11
Medidas de tempos de vida em wafers de silício


               1         1        1                  Objectivo:
                             
              eff       b       s                 τeff ≈ τb



Eliminar o efeito das superficies:
                                                 1        1        2s
1. Variando a espessura                                               se   s1=s2=s
                                              eff        b       W
2. Passivando a superfície

                                          s - velocidade de recombinação à superfície
                                          W - espessura


                                                                                  12
Medidas em wafers de silício – variação da espessura


   Polimento mecânico




    Melhor resultado (40 μm): lixa 80, 400 rpm e 5 min. de polimento
    Reproductibilidade: Amostras partiam ou quantidade de material polido
     reduzido (5-10 μm)

                             Abandonou-se este método


                                                                             13
Medidas em wafers de silício – variação da espessura

   Polimento químico
    (a)   Polish
    (b)   Água do polish
    (c)   HF
    (d)   Água do HF




 Polish - 75% de HNO3, 15% de HF e 10% de CH3COOH (polimento)
 HF - remove SiO2 da superfície das amostras
 Águas desionizadas – limpam resíduos dos processos de polish e HF


                           Apenas alguns min. para polir 30-40 μm


                                                                      14
Medidas em wafers de silício - resultados
                                                                                              WCT-120     WT-1000
                                                                                0.8




                                                           Tempo de vida (μs)
                                                                                0.6
                                                                                0.4
                                                                                0.2
                                                                                0.0
                                                                                      100         150           200           250
                                                                                                  Espessura (μm)


                                                                                              WCT-120         WT-1000
                                                                  8
                                      Tempo de vida (μs)

                                                                  6
                                                                  4
                                                                  2
                                                                  0
                                                                                250     270     290     310      330    350         370
                                                                                                  Espessura (μm)

                                                                                                                                          15
Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com SiO2

                                                            Wafer 270 μm espessura
                                                                   Tempo de vida medido (μs)

                                                                     WCT-120      WT-1000
                                                       sem
                                                                       1,50          3,00
                                                    passivação
                                                       com
                                                                       0,42          0,41
                                                    passivação



                 T set point = 840 °C                           T real = 895 °C
                Espessura SiO2 30 nm                        Tempo no forno: 30 min.


              Tempo no forno: 27 min.                            Espessura SiO2 50 nm

                                                                                        16
Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com SiO2


                                     Tempo de vida medido (μs)

                                       WCT-120      WT-1000
                           sem
                                         1,50          3,00
                        passivação
                           com
                                         0,42          0,41
                        passivação
                        Depois do
                                         0,32          0,38
                           HF

                 O processamento a altas temperaturas pode levar à
                      degradação dos tempos de vida da wafer




                                                                                  17
Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com iodo-etanol


                                                        Wafer 360 μm espessura

                                                                Tempo de vida medido (μs)

                                                                  WCT-120      WT-1000

                                               sem passivação       3,75         5,96

                                               com passivação      12,75         12,09




                                                   Iodo 10g
   Ambas as superfícies da amostra com
                                                   Etanol 99% 100 mL
   solução de iodo-etanol
                                                   Concentração 0,08 moldm-3


                                                                                   18
Medidas em wafers de silício monocristalino – estimativa da velocidade de recombinação
                                                                               à superfície
A. Sem passivação
                                                                                   W
                            10000
                                                                           sn 
recombinação à superfície




                                                                                           se   τb → ∞
                            8000                                                  2 eff
     Velocidade de




                            6000
         (cm/s)




                            4000                                 WCT-120
                            2000                                 WT-1000
                                0
                                    250   300        350   400
                                          Espessura (μm)



B. Após passivação com iodo-etanol



                                                                                                  19
Estudo comparativo entre os dois sistemas – medida de referência


      Wafer monocristalina                       5 sistemas de μW-PCD
      400 μm de espessura                        Semilab Hungria




      2 one-point
      3 mapping




                                                                        20
Estudo comparativo entre os dois sistemas – medida de referência


 Resultados:


                                  Tempo de vida medido (μs)
                Lisboa (FCUL)                                  Hungria (Semilab)
                                                 Média de todos os
      WCT-120                   WT-1000                                   Diferentes sistemas
                                                     sistemas
        2,14                     5,84                   4,60                  4,34 - 4,80




       Boa estimativa feita pelos instrumentos de medida WCT-120 e WT-1000




                                                                                            21
Estudo comparativo entre os dois sistemas - WCT120 Sinton e WT1000 Semilab
                                                          s/ passivação          SiO2            Iodo-Etanol
                                       2.5

                                       2.0
                                                                                                               +50%
                                                                                             +41%
             Diferença dos τeff (μs)




                                       1.5
                                                          +37%
                                       1.0

                                       0.5
                                                     -2%
                                       0.0
                                              250   270             290        310         330        350         370
                                       -0.5
                                                                                                                -5%
                                       -1.0
                                                                          Espessura (μm)

Fórmula de cálculo da diferença
τeff (Semilab) - τeff (Sinton)

                                                                                                                        22
Conclusão


• Os sistemas do lab. da FCUL dão boas estimativas das medidas dos tempos de vida em
  mono-Si

• Após passivação da superfície observam-se menores discrepâncias entre os sistemas

• Sem passivação da superfície

    Em geral, τeff (WT-1000 Semilab) > τeff (WCT-120 Sinton)

    WT-1000 Semilab é o que mais se aproxima do valor de referência



                                                               Obrigada pela atenção!


                                                                                 23

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Lifetime measurements

  • 2. Índice 1) Introdução 2) Conceitos teóricos 3) Métodos e instrumentos de medida 4) Medidas em wafers de silício 5) Estudo comparativo entre os dois sistemas 6) Conclusão 2
  • 3. Introdução Mono-Si Multi-Si Célula PV convencional Módulo PV Wafers c-Si 87,6% das células PV (2010) 3
  • 4. Introdução Material que constitui wafer muito importante na relação custo-eficiência do sistema PV Caracterização do material Tempos de vida 4
  • 5. Introdução Tempos de vida Material de má Decréscimo da eficiência baixos qualidade Aumento dos custos do Wp Identificação e remoção das wafers de má qualidade 5
  • 6. Conceitos teóricos Mecanismos de recombinação SRH, Auger, Radiativa Maior fatia de perdas em células de c-Si 6
  • 7. Conceitos teóricos Superfície 1 1 1   Bulk  eff b s Superfície Operações de corte e polimento criam Aumento dos eventos de novos estados à superfície recombinação à superfície Diminuição do tempo de vida à superfície 7
  • 8. Conceitos teóricos Reduzir ao máximo a densidade de estados energéticos à superfície Passivação da superfície SiO2 Iodo-Etanol Região de deplecção positiva repele os buracos da superfície (em p-Si) 8
  • 9. Técnicas de medida de tempos de vida em semicondutores RF-QSSPC e μW-PCD determinam o tempo de vida recorrendo à fotocondutância. Diferem no tipo de sensor e excitação WCT-120 Sinton Sensor RF – correntes induzidas ∝ fotocondutância Excitação – pulso luz longo com decaimento lento WT-1000 Semilab Sensor refletância μW – diferença amplitudes das microondas ∝ fotocondutância Excitação – pulso luz abruptamente interrompido 9
  • 10. Instrumentos de medida - WCT-120 Sinton Luz branca + filtro passa I.V. Diâmetro sensor RF: 4 cm Gerador RF: 13,56 MHz Wn  QSS  d N ph f abs  W n dt Taxa de fotogeração W – Espessura da wafer Δn – Concentração de electrões em excesso Nph- Fluxo de fotões Fabs – Coeficiente de absorção 10
  • 11. Instrumentos de medida - WT-1000 Semilab Laser I.V. Diâmetro laser: 3 mm Gerador μW: 10,3 GHz 1  PCD  1 d n n dt  t  n(t )  n(0) exp     PCD  Após remoção da excitação , o tempo de vida é o tempo t até que Δn(t)=e-1Δn(0) 11
  • 12. Medidas de tempos de vida em wafers de silício 1 1 1 Objectivo:    eff b s τeff ≈ τb Eliminar o efeito das superficies: 1 1 2s 1. Variando a espessura   se s1=s2=s  eff b W 2. Passivando a superfície s - velocidade de recombinação à superfície W - espessura 12
  • 13. Medidas em wafers de silício – variação da espessura Polimento mecânico  Melhor resultado (40 μm): lixa 80, 400 rpm e 5 min. de polimento  Reproductibilidade: Amostras partiam ou quantidade de material polido reduzido (5-10 μm) Abandonou-se este método 13
  • 14. Medidas em wafers de silício – variação da espessura Polimento químico (a) Polish (b) Água do polish (c) HF (d) Água do HF  Polish - 75% de HNO3, 15% de HF e 10% de CH3COOH (polimento)  HF - remove SiO2 da superfície das amostras  Águas desionizadas – limpam resíduos dos processos de polish e HF Apenas alguns min. para polir 30-40 μm 14
  • 15. Medidas em wafers de silício - resultados WCT-120 WT-1000 0.8 Tempo de vida (μs) 0.6 0.4 0.2 0.0 100 150 200 250 Espessura (μm) WCT-120 WT-1000 8 Tempo de vida (μs) 6 4 2 0 250 270 290 310 330 350 370 Espessura (μm) 15
  • 16. Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com SiO2 Wafer 270 μm espessura Tempo de vida medido (μs) WCT-120 WT-1000 sem 1,50 3,00 passivação com 0,42 0,41 passivação T set point = 840 °C T real = 895 °C Espessura SiO2 30 nm Tempo no forno: 30 min. Tempo no forno: 27 min. Espessura SiO2 50 nm 16
  • 17. Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com SiO2 Tempo de vida medido (μs) WCT-120 WT-1000 sem 1,50 3,00 passivação com 0,42 0,41 passivação Depois do 0,32 0,38 HF O processamento a altas temperaturas pode levar à degradação dos tempos de vida da wafer 17
  • 18. Medidas em wafers de silício monocristalino – passivação da superfície com iodo-etanol Wafer 360 μm espessura Tempo de vida medido (μs) WCT-120 WT-1000 sem passivação 3,75 5,96 com passivação 12,75 12,09 Iodo 10g Ambas as superfícies da amostra com Etanol 99% 100 mL solução de iodo-etanol Concentração 0,08 moldm-3 18
  • 19. Medidas em wafers de silício monocristalino – estimativa da velocidade de recombinação à superfície A. Sem passivação W 10000 sn  recombinação à superfície se τb → ∞ 8000 2 eff Velocidade de 6000 (cm/s) 4000 WCT-120 2000 WT-1000 0 250 300 350 400 Espessura (μm) B. Após passivação com iodo-etanol 19
  • 20. Estudo comparativo entre os dois sistemas – medida de referência Wafer monocristalina 5 sistemas de μW-PCD 400 μm de espessura Semilab Hungria 2 one-point 3 mapping 20
  • 21. Estudo comparativo entre os dois sistemas – medida de referência Resultados: Tempo de vida medido (μs) Lisboa (FCUL) Hungria (Semilab) Média de todos os WCT-120 WT-1000 Diferentes sistemas sistemas 2,14 5,84 4,60 4,34 - 4,80 Boa estimativa feita pelos instrumentos de medida WCT-120 e WT-1000 21
  • 22. Estudo comparativo entre os dois sistemas - WCT120 Sinton e WT1000 Semilab s/ passivação SiO2 Iodo-Etanol 2.5 2.0 +50% +41% Diferença dos τeff (μs) 1.5 +37% 1.0 0.5 -2% 0.0 250 270 290 310 330 350 370 -0.5 -5% -1.0 Espessura (μm) Fórmula de cálculo da diferença τeff (Semilab) - τeff (Sinton) 22
  • 23. Conclusão • Os sistemas do lab. da FCUL dão boas estimativas das medidas dos tempos de vida em mono-Si • Após passivação da superfície observam-se menores discrepâncias entre os sistemas • Sem passivação da superfície Em geral, τeff (WT-1000 Semilab) > τeff (WCT-120 Sinton) WT-1000 Semilab é o que mais se aproxima do valor de referência Obrigada pela atenção! 23